產(chǎn)品中心
CD8
- 應(yīng)用領(lǐng)域:類載板(IC)、HDI
適用制程:內(nèi)、外層
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技術(shù)特點(diǎn)
- 高解析
易操作
分區(qū)對位
高精度、高對準(zhǔn)、自動(dòng)實(shí)時(shí)對焦
能量自動(dòng)監(jiān)測
設(shè)備參數(shù)
- 最小線寬/距:8/8μm
產(chǎn)能:120片/小時(shí)
對位精度:±5μm
最大板尺寸:24"*24"
層間對位精度:10μm
資料分辨率:0.5μm
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