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高多層
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應用領域:高多層、單/雙面板
適用制程:內(nèi)、外層
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技術特點
高產(chǎn)能
分區(qū)對位
高精度、高對準
多種漲縮對位模式
易操作
可配全自動連線
設備參數(shù)
最小線寬/距:20/20μm
產(chǎn)能:360面/小時
最大板尺寸:28.8"*50"
對位精度:±12μm
層間對位精度:24μm
線寬均勻性:±10%
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